电子级硼酸**酯 (TMB) 一、分子式: B(OCH3)3 二、分子量:103.92 三、理化性质 无色液体,无明显气味,性质稳定。熔点-29℃,密度0.915g/ml,沸点67~68℃。易燃, 与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸,能与**溶剂混溶。 四、用途 主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积(CVD)生成硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、 分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。 供应半导体化学气相沉积材料,专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料,TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor,TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material,TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。