电子级亚磷酸**酯TMPI 一、分子式: P(OCH3)3 二、分子量: 124.08 三、理化性质 无色液体,有刺激性臭味,熔点-78℃,沸点111~112℃,密度1.05g/ml。易燃,不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。 四、用途 主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半导体、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。 前驱体材料 Precursor Material 序号 中文名 化学式 CAS号 中文别名 英文名 1 **基铝 C3H9Al 75-24-1 **基铝 Trimethylaluminium 2 **基锑 Sb(CH3)3 594-10-5 **基锑 Trimethylantimony 3 三乙基锑 C6H15Sb 617-85-6 三乙基锑 Antimony triethide 4 二叔丁基碲 PhTeMgBr 83817-35-0 二叔丁基碲 Tert-butyl telluride 5 二乙基碲 Te(C2H5)2 627-54-3 二乙基碲 Telluriumdiethyl 6 二异丙基碲 C6H14Te 51112-72-2 二异丙基碲 Diisopropyl telluride 7 三(二甲氨基)镓 Ga(N(CH3)2)3 57731-40-5 三(二甲基酰氨基)镓(III) Tris(dimethylamido)gallium(III) 8 三(二甲氨基)硅 C6H19N3Si 15112-89-7 三(二甲胺基)硅烷 Tris(dimethylamino)silane 9 三(二甲氨基)锑 C6H18N3Sb 7289-92-1 三(二甲氨基)锑 Tris(dimethylamino)antimony 10 四(二甲氨基)铪 C8H24HfN4 19962-11-9 四(二乙氨基)铪 Tetrakis(diethylamion)hafnium 11 四(甲乙胺基)铪 C12H32HfN4 352535-01-4 四双(乙基甲基氨)铪(IV) Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV) 12 四(二甲氨基)锗 C8H24GaN4 7344-40-3 四(二甲氨基)锗 Germanium dimethylamide 13 四(二甲氨基)锆 C8H24N4Zr 19756-04-8 四(二乙氨基)锆(Ⅳ) Tetrakis(diethylamion)zirconium( Ⅳ) 14 四(甲乙胺基)锆 C12H32N4Zr 175923-04-3 四(乙基甲基氨基)锆(IV) Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium(iv) 15 四(二甲氨基)锡 C8H24N4Sn 1066-77-9 四(二甲氨基)锡 Tetrakis(dimethylamino)tin 16 四(二甲氨基)钛 C8H24N4Ti 3275-24-9 四(二甲氨基)钛 Titanium tetrakis(dimethylamide)/TDMAT 17 四(甲乙胺基)钒 C12H32N4V 791114-66-4 四(乙基甲基氨基)钒 Tetrakis(ethylmethylamino)vanadium 18 五(乙氧基)钽 C10H30O5Ta 6074-84-6 乙醇钽(V) Tantalum(5+) ethanolate 19 五(二甲氨基)钽 C10H30N5Ta 19824-59-0 五(二甲氨基)钽 Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) 二环茂二烯铁 ;双环戊二烯基铁 ; Ferrocene 20 二茂铁 C10H10Fe 102-54-5 环戊二茂铁 21 二茂锰 C10H10Mn 73138-26-8 双(环戊二基)锰 Bis(cyclopentadienyl)manganese( Ⅱ) 22 二茂镍 C10H10Ni 1271-28-9 双(环戊二烯)镍 Bis(η5-2,4-cyclopentadien -1-yl)nickel 23 二茂钌 C10H10Ru 1287-13-4 双(环戊二烯)钌 Ruthenocene 24 甲基二茂镁 C12H14Mg 40672-08-0 双(甲基环戊二烯)镁 Bis(methylcyclopentadienyl)magnesium 25 乙基二茂镁 C14H18Mg 114460-02-5 双(乙基环戊二烯)镁 Bis(ethylcyclopentadienyl)magnesium 26 乙基二茂锰 C14H18Mn 101923-26-6 二(乙基环戊二烯基 )锰(II) Bis(ethylcyclopentadienyl)manganese 27 乙基二茂钌 C7H9RuC7H9 32992-96-4 双(乙基环戊二烯基 )钌(II) Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium(II) 28 **基甲基环戊二烯基铂 C9H16Pt 94442-22-5 (**基)甲基环戊二烯合铂 (IV) (Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum (IV) 29 (四甲基庚二酮)锂 C11H19LiO2 22441-13-0 (2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)锂 (2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato)lithium 30 (四甲基庚二酮)银 C11H19AgO2 79827-25-1 2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸根银(I) 2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato silver (I) 31 二(六氟戊二酮)铜 C10H2CuF12O4 14781-45-4 双(六氟乙酰丙酮)合铜(II) Copper(II) hexafluoro-2,4-pentanedionate 32 三(乙酰丙酮)铱 C15H21IrO6 15635-87-7 三(乙酰丙酮根)合铱(III) Iridium(III) acetylacetonate 33 三(四甲基庚二酮)镧 C33H57LaO6 14319-13-2 (2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)镧 BIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)LEAD(II) 34 二(四甲基庚二酮)铅 C22H38O4Pb 21319-43-7 双(2,2,6,6,-四甲基-3,5-庚二酮酸)铅 BIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)LEAD(II) 35 三(四甲基庚二酮)铋 C33H57BiO6 142617-53-6 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)铋 BISMUTH TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATE) 36 三(四甲基庚二酮)铒 C33H57ErO6 34750-80-6 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)铒 ERBIUM TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL -3,5-HEPTANEDIONATE) 37 三(四甲基庚二酮)钇 C33H57O6Y 15632-39-0 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钇 TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)YTTRIUM(III) 38 环戊二烯铟 C5H5In 34822-89-4 环戊二烯铟(I) Cyclopentadienylindium (I) 39 四氯化锡 Cl4Sn 7646-78-8 四氯化锡 Tin tetrachloride 40 四异丙醇钛 C12H28O4Ti 546-68-9 钛酸四异丙酯 Titanium tetraisopropanolate 41 叔丁醇锂 C4H9LiO 1907-33-1 叔丁醇锂 Lithium tert-butoxide